- 收缩式投影曝光装置
- reduction: n. 1.缩小，减少；降级，降位；(刑罚等的)轻减；减速 ...
- aligner: 出发时负责将舟艇排齐工作人员; 调校器; 定位器，校直器，调整器；前轮定位仪; 定线器; 对中心器; 对准器, 调整器; 取齐员; 校准仪; 整平器; 整直器，调整器; 直线对准器; 直线校准器; 准直器，校准器
- aligner feeder: 整列进料机
- automask aligner: 自动掩模对准器
- axicon aligner: 轴锥镜准直器
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